
Penerapan Tabung Stainless di Industri Semikonduktor Tabung stainless, terutama tabung baja tahan karat mulus dengan kemurnian tinggi (316L, 316L EP, BA), adalah bahan dasar utama yang sangat diperlukan di pabrik manufaktur semikonduktor (Fab), melakukan...
Penerapan tabung stainless steel di industri semikonduktor
Tabung baja tahan karat, terutama tabung baja tahan karat mulus dengan kemurnian tinggi (316L, 316L EP, BA), merupakan bahan dasar utama yang sangat diperlukan di pabrik semikonduktor (Fabs), yang terutama melakukan tugas mengangkut gas ultra murni, bahan kimia, dan air ultra murni.
Produksi chip semikonduktor sangat sensitif terhadap kontaminasi:
1. Polusi partikel
2. Kontaminasi Logam
3. Polusi kelembaban
4. Kontaminasi bahan organik (TOC)
Bahkan pengotor pada tingkat nanometer dapat menyebabkan kegagalan seluruh wafer.
Oleh karena itu, sistem transportasi harus mempunyai:
1. Kemurnian sangat tinggi
2. Emisi pengotor yang sangat rendah
3. Ketahanan korosi
4.Tidak ada pembentukan partikel
5.Kemampuan untuk pekerjaan stabil jangka panjang
Dan tabung baja tahan karat 316L yang dipoles secara elektro (EP) kini menjadi solusi utama.
Skenario aplikasi utama:
1. Sistem pasokan gas khusus
2. Sistem air ultra murni
3. Sistem pasokan bahan kimia
4. Sistem vakum
Standar Tabung Stainless Banyak Digunakan di Industri Semikonduktor
| Nama | Standar |
| Bahan | 316L |
| Standar | ASTM A269 |
| Standar kemurnian sangat tinggi | SEMI F20 |
| Perawatan permukaan | B.A., E.P. |
| kekasaran | Ra ≤ 0,25 mikron |
| Metode pengelasan | Pengelasan orbital |
| Kelas kebersihan | Kelas 100 / ISO 5 |